เตาออกซิเดชันและหลอมในแนวตั้ง

เตาออกซิเดชันและหลอมอ่อนในแนวตั้งของเราสร้างขึ้นเพื่อการประมวลผลทางความร้อนที่เชื่อถือได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยจะจัดการกับการเกิดออกซิเดชัน การหลอม และการผสมสำหรับเวเฟอร์ที่ใช้ในวงจรรวม อุปกรณ์ไฟฟ้า และ MEMS ด้วยการรองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว และความจุเป็นชุดสูงสุด 150 ชิ้น ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในช่วงอุณหภูมิกระบวนการที่กว้าง

ความน่าเชื่อถือของระบบที่แข็งแกร่งและประสิทธิภาพที่มั่นคง ดังนั้นกระบวนการจึงสามารถทำซ้ำได้แม้ในระยะยาว

กลไกล็อคเพื่อความปลอดภัยเต็มรูปแบบช่วยปกป้องผู้ปฏิบัติงาน เวเฟอร์ และตัวเตาเผาระหว่างการทำงาน

การทำงานที่ใช้งานง่ายและการบำรุงรักษาที่ตรงไปตรงมาช่วยลดเวลาหยุดทำงานและทำให้การใช้งานในแต่ละวันง่ายขึ้น

วงจรรวม: ใช้ในขั้นตอนออกซิเดชั่น การหลอม และการผสม เพื่อปรับปรุงคุณภาพฟิล์มและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

อุปกรณ์ไฟฟ้า: รองรับ-การบำบัดความร้อนที่อุณหภูมิสูงซึ่งปรับปรุงคุณลักษณะทางไฟฟ้าและ-ความน่าเชื่อถือในระยะยาว

MEMS: ให้การประมวลผลความร้อนที่มีการควบคุมสำหรับการสร้างโครงสร้าง การบรรเทาความเครียด และการรักษาเสถียรภาพของอุปกรณ์

ป้ายกำกับยอดนิยม: ออกซิเดชันในแนวตั้งและเตาหลอม จีนผู้ผลิตเตาออกซิเดชันและเตาหลอมในแนวตั้ง ซัพพลายเออร์