ภาพรวมผลิตภัณฑ์
อุปกรณ์ RTP กึ่ง-อัตโนมัตินี้ใช้งานได้จริง โดยสามารถประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 8 ถึง 12 นิ้วได้ อุปกรณ์ RTP กึ่ง-อัตโนมัติให้การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและมีปริมาณออกซิเจนต่ำมาก ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความบริสุทธิ์ของกระบวนการสูง นอกจากนี้ ยังมีคุณลักษณะ-ครบครัน ซึ่งรองรับทั้งวิธีการประมวลผลแบบบรรยากาศและแบบสุญญากาศ และยังมีคุณลักษณะด้านความปลอดภัยสามระดับอีกด้วย เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การเพิ่มประสิทธิภาพ ITO และการหลอมโลหะผสมซิลิไซด์ในการผลิตปริมาณปานกลาง-
ข้อดี
ความสามารถในการปรับตัวได้กว้าง:
รองรับเวเฟอร์ขนาด 8-12 นิ้ว ตอบสนองความต้องการการผลิตเป็นชุดในขนาดต่างๆ การกำหนดค่าหลอดไฟและ SCR ที่ยืดหยุ่นจะปรับให้เข้ากับสถานการณ์กระบวนการที่หลากหลาย
ระบบอัตโนมัติช่วยเพิ่มประสิทธิภาพ:
ในขณะที่ยังคงต้องมีการโหลดและขนแผ่นเวเฟอร์ด้วยตนเอง ประตูห้องจะเปิดและปิดโดยอัตโนมัติหลังจากเริ่มต้นกระบวนการ ช่วยลดการแทรกแซงด้วยตนเองและปรับปรุงประสิทธิภาพการปฏิบัติงานและความสม่ำเสมอของกระบวนการ
บรรยากาศที่แม่นยำ:
ปริมาณออกซิเจน<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.
ปลอดภัยและเชื่อถือได้:
มาพร้อมกับคุณสมบัติด้านความปลอดภัยสามระดับ รวมกับการควบคุมประตูห้องอัตโนมัติ ช่วยลดความเสี่ยงในการปฏิบัติงานและกระบวนการ และรับประกันการทำงานของอุปกรณ์ที่มีเสถียรภาพ
พารามิเตอร์
|
แบบอย่าง |
RTP-SA-8 |
RTP-SA-12 |
|
ขนาดเวเฟอร์ |
8 นิ้วและต่ำกว่า |
12 นิ้วและต่ำกว่า |
|
ขนาด |
970 มม. × 1550 มม. × 2160 มม. (กว้าง×ลึก×สูง) |
1,050 มม. × 1740 มม. × 2240 มม (W×D×H) |
|
ช่วงอุณหภูมิ |
RT~~800 องศา (ควบคุมโดยเทอร์โมโคเปิล) 500 องศา ~ 1250 องศา (ควบคุมโดย pyrometer) |
RT~~800 องศา (ควบคุมโดยเทอร์โมโคเปิล) 500 องศา ~ 1250 องศา (ควบคุมโดย pyrometer) |
|
อัตราความร้อนสูงสุด |
150 องศา /s --- เวเฟอร์เท่านั้น 20 องศา /s---ตัวพา SiC 30 องศา /s---สารเคลือบกราไฟท์ SiC |
150 องศา /s --- เวเฟอร์เท่านั้น 20 องศา /s---ตัวพา SiC 30 องศา /s---สารเคลือบกราไฟท์ SiC |
|
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ |
น้อยกว่าหรือเท่ากับ ±3 องศา @ น้อยกว่าหรือเท่ากับ 600 องศา น้อยกว่าหรือเท่ากับ ±0.5% @ >600 องศา |
น้อยกว่าหรือเท่ากับ ±3 องศา @ น้อยกว่าหรือเท่ากับ 600 องศา น้อยกว่าหรือเท่ากับ ±0.5% @ >600 องศา |
|
การทำซ้ำอุณหภูมิ |
±1 องศา |
±1 องศา |
|
จำนวนหลอดไฟ/SCR |
33ตัว/10ชุด |
41ตัว/16ชุด 55ea/24ชุด |
|
แม็กซ์ เอ็มเอฟซี |
6 |
6 |
|
ความดันต่ำสุด |
30ม.ทอร์ |
30ม.ทอร์ |
|
อัตราการรั่วไหล |
10มทอร์/นาที |
10มทอร์/นาที |
|
O2เปอร์เซ็นต์ |
<1 ppm |
<1 ppm |
|
กำลังสูงสุด/เฉลี่ย |
90/ 50 กิโลวัตต์ |
100/ 60 กิโลวัตต์ |
|
แรงดันไฟฟ้า |
สายไฟ 380V/ 60HZ/ 3 เฟส 5 |
สายไฟ 380V/ 60HZ/ 3 เฟส 5 |
|
วิธีการควบคุม |
การควบคุมพีซี |
การควบคุมพีซี |
คำถามที่พบบ่อย
1.ประตูห้องไม่เปิด/ปิดอัตโนมัติ?
ตรวจสอบว่ากระบวนการเริ่มต้นตามปกติหรือไม่ รีสตาร์ทอุปกรณ์แล้วลองอีกครั้ง หากปัญหายังคงอยู่ ให้ตรวจสอบสายไฟเซ็นเซอร์ประตูห้องเพาะเลี้ยง
2.ปริมาณออกซิเจนเกิน 1 ppm?
แทนที่ด้วยก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูง- ตรวจสอบรอยรั่วในท่อส่งก๊าซ ซ่อมแซมและทดสอบระดับออกซิเจนอีกครั้ง
3.ความร้อนเวเฟอร์ไม่สม่ำเสมอ?
ยืนยันว่าขนาดเวเฟอร์ถูกต้อง (8/12 นิ้ว) ทำความสะอาดห้องควอทซ์ หากปัญหายังคงอยู่ โปรดติดต่อวิศวกรเพื่อปรับกำลังไฟของหลอดไฟ
4.เวเฟอร์หลุดง่ายระหว่างการขนถ่ายด้วยมือ?
ทำความสะอาดพื้นผิวพาหะ ค่อยๆ ดันแผ่นเวเฟอร์ไปที่ตรงกลางระหว่างการขนถ่าย สวมถุงมือกันลื่น-กันฝุ่น
5.จะหยุดรถฉุกเฉินได้อย่างไร?
กด "EMO Emergency Stop" เพื่อตัดแหล่งความร้อน หลังจากแก้ไขปัญหาแล้ว ให้กดปุ่ม "รีเซ็ต" เพื่อรีสตาร์ท
การรับรอง
◆ การรับรองการปฏิบัติตามข้อกำหนด SEMI S2
ป้ายกำกับยอดนิยม: อุปกรณ์ rtp กึ่ง-อัตโนมัติ ประเทศจีนผู้ผลิตอุปกรณ์ rtp กึ่งอัตโนมัติ- และซัพพลายเออร์
