เตาแปรรูปความร้อนแนวตั้ง

ท่อเตาแนวตั้งของเราเป็นโซลูชันการประมวลผลด้วยความร้อนเฉพาะทางที่สร้างขึ้นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมและออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ได้รับการออกแบบมาเพื่อมอบสภาพแวดล้อมทางความร้อนที่สม่ำเสมอและทำซ้ำได้สำหรับกระบวนการเวเฟอร์ที่สำคัญ ผสมผสานการออกแบบทางกลที่แข็งแกร่งเข้ากับการควบคุมอุณหภูมิและก๊าซที่แม่นยำ เพื่อรองรับการผลิตที่มีปริมาณมาก-ด้วยกรอบเวลากระบวนการที่จำกัด

ประสิทธิภาพที่มั่นคงและเชื่อถือได้: ระบบได้รับการออกแบบสำหรับการดำเนินงาน-ในระยะยาวและมีการหยุดทำงานต่ำ- โดยมีความสม่ำเสมอทางความร้อนที่สม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ ซึ่งช่วยรักษาผลตอบแทนที่สูงตลอดการดำเนินการผลิต

การป้องกันความปลอดภัยที่แข็งแกร่ง: ระบบอินเตอร์ล็อคนิรภัยแบบหลายชั้นจะตรวจสอบอุณหภูมิ ความดัน และสภาวะของก๊าซอย่างต่อเนื่อง โดยตอบสนองต่อความผิดปกติโดยอัตโนมัติเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงาน เวเฟอร์ และอุปกรณ์

การดำเนินงานที่ใช้งานง่ายและมีประสิทธิภาพ: อินเทอร์เฟซและขั้นตอนการทำงานได้รับการปรับปรุงเพื่อลดเวลาการฝึกอบรมและข้อผิดพลาดของมนุษย์ ในขณะที่การโหลดและวงจรกระบวนการที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมจะปรับปรุงปริมาณงานโดยรวมและความง่ายในการบำรุงรักษา

ครอบคลุมกระบวนการที่ยืดหยุ่น: ใช้งานได้กับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว บรรจุได้ถึง 150 ชิ้นต่อรอบ และทำงานตั้งแต่ 400 องศา ถึง 1250 องศา ทำให้เหมาะสำหรับขั้นตอนที่ใช้ความร้อนที่หลากหลายในการผลิตอุปกรณ์สมัยใหม่

ท่อเตาแนวตั้งนี้รองรับกระบวนการทางความร้อนอย่างเต็มรูปแบบที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์:

ออกซิเดชัน: สร้างชั้นไดอิเล็กทริกคุณภาพสูง-บนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์

การหลอม: การบรรเทาความเครียด การซ่อมแซมข้อบกพร่อง และการปรับคุณสมบัติทางไฟฟ้าของวัสดุ

การผสม: การปรับองค์ประกอบและประสิทธิภาพของโลหะผสมฟิล์มบาง-

การบ่มด้วย PI: การเชื่อมขวางของโพลีเมอร์และการทำให้เสถียรสำหรับชั้นโพลีอิไมด์

การสะสมของฟิล์มบาง-: โพลี, TEOS, SiN, HTO และกระบวนการเจริญเติบโตของฟิล์มหลักอื่นๆ

ป้ายกำกับยอดนิยม: เตาแปรรูปความร้อนแนวตั้ง ประเทศจีนผู้ผลิตเตาแปรรูปความร้อนแนวตั้ง ซัพพลายเออร์