เพิ่มขีดความสามารถใหม่ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เพิ่มขีดความสามารถใหม่ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์! Nice Tech เปิดตัวอุปกรณ์ LPCVD ซีรีส์- สองชุด ซึ่งมีความสมดุลระหว่างความแม่นยำและประสิทธิภาพ

หากคุณได้ติดตามความก้าวหน้าด้านอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ คุณจะรู้ว่าเครื่องมือ LPCVD ที่เชื่อถือได้นั้นยิ่งใหญ่เพียงใด-โดยเฉพาะสำหรับทีมที่ต้องจัดการทั้งด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิตจำนวนมาก นั่นเป็นเหตุผลว่าทำไมซีรีส์ LPCVD แนวนอนและแนวตั้งที่ Nice Tech เพิ่งเปิดตัว-จึงให้ความรู้สึกเหมือน-ผู้เปลี่ยนเกม สิ่งเหล่านี้ไม่ใช่แค่ "เครื่องจักรอีกชุดหนึ่ง"; สร้างขึ้นเพื่อแก้ไขปัญหาที่เราได้ยินจากวิศวกร: ความสม่ำเสมอของฟิล์มที่ไม่สม่ำเสมอ การจำกัดขนาดเวเฟอร์ที่เข้มงวด และความยุ่งยากในการสลับระหว่างกระบวนการ

สำหรับผู้ที่เพิ่งเริ่มใช้ LPCVD: นี่คือแกนหลักในการผลิตฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ-ซิลิคอนไนไตรด์ ออกไซด์ ซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์-โดยการให้ความร้อนสารประกอบก๊าซภายใต้แรงดันต่ำเพื่อเคลือบแผ่นเวเฟอร์ Nice Tech ปรับเปลี่ยนเทคโนโลยีนี้มาหลายปีแล้ว และด้วยโมเดลทั้งสองนี้ พวกเขามุ่งเน้นไปที่สิ่งที่ทีมต่างๆ ต้องการอย่างแท้จริง

ใช้ LPCVD แนวนอนก่อน สร้างขึ้นสำหรับผู้ที่สวมหมวกหลายใบ-เช่นทีม R&D ที่ทดสอบกระบวนการใหม่หนึ่งสัปดาห์และเพิ่ม-การผลิตเป็นชุดเล็กๆ ในวันถัดไป โดยจะสลับระหว่างการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และการอบอ่อนโดยไม่ยุ่งยาก ซึ่งช่วยประหยัดเวลาได้มากเมื่อเทียบกับการใช้เครื่องมือที่แยกจากกัน เราเคยเห็นห้องปฏิบัติการเสียเวลาหลายชั่วโมงในการกำหนดค่าอุปกรณ์ใหม่ อันนี้ตัดออก รองรับเวเฟอร์ขนาด 8- นิ้วหรือเล็กกว่า และฟิล์มมีความสม่ำเสมอหรือไม่ สม่ำเสมอภายใต้ ±2% นอกจากนี้ โครงสร้างยังดำเนินการได้ยากเป็นเวลาหลายสัปดาห์โดยไม่มีการหยุดทำงาน ซึ่งสำคัญเมื่อคุณอยู่ในไทม์ไลน์ของโปรเจ็กต์ที่จำกัด

LPCVD แนวนอน

จากนั้นก็มี Vertical LPCVD ที่สร้างขึ้นสำหรับลีกใหญ่: การผลิตเวเฟอร์ขนาด 6-12 นิ้วจำนวนมาก หากสายงานของคุณเกี่ยวกับระบบอัตโนมัติ (และเอาจริงเอาจัง สิ่งอำนวยความสะดวกที่ทันสมัยส่วนใหญ่เป็นเช่นนั้น) สิ่งนี้ก็เข้ากันได้ดี ไม่ต้องปรับแต่งด้วยตนเองเพื่อทำให้สิ่งต่าง ๆ ช้าลงอีกต่อไป-ระบบจะซิงค์กับสายการผลิตอัจฉริยะได้อย่างราบรื่น นอกจากนี้ยังตอกย้ำการสะสมของฟิล์ม SiC -บางๆ ด้วยเช่นกัน ซึ่งมีขนาดใหญ่มากสำหรับอุปกรณ์พลังงานอุณหภูมิสูง-ในเซมิคอนดักเตอร์แบนด์แก็ปแบบกว้าง ความสม่ำเสมอของที่นี่คือ ±3% ซึ่งมากเกินพอสำหรับการวิ่งขนาดใหญ่ และยังคงรักษาเป้าหมายการผลิตที่รัดกุมโดยไม่ทำให้คุณภาพลดลง

LPCVD แนวตั้ง

ทั้งสองมีพื้นฐานอันชาญฉลาดร่วมกัน: การควบคุมอุณหภูมิที่อยู่ภายใน ±0.5 องศา (สำคัญสำหรับฟิล์มที่มีความสม่ำเสมอ) และช่วง 500-800 องศาที่เหมาะกับฟิล์มบางทั่วไปส่วนใหญ่ และถ้าคุณต้องการอะไรที่เกินกว่าภาพยนตร์สามเรื่องมาตรฐานล่ะ? ทีมของ Nice Tech จะพัฒนาโซลูชันแบบกำหนดเอง ซึ่งเราได้พูดคุยกับวิศวกรของพวกเขาแล้ว และพวกเขาก็ค่อนข้างยืดหยุ่นในการปรับแต่งกระบวนการให้ตรงกับความต้องการเฉพาะ

นี่คือสิ่งที่เราชอบมากที่สุด: พวกเขาไม่ได้บังคับให้คุณเลือกระหว่าง "เครื่องมือ R&D" และ "เครื่องมือการผลิต" เครื่องแนวนอนเหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการทดสอบฟิล์มลิเธียมไนโอเบตหรือชิปควอนตัม Vertical โดดเด่นในโรงงานที่ผลิตเวเฟอร์ขนาด 12- นิ้วสำหรับไอซี และการบำรุงรักษา? เพียงทำความสะอาดโพรงและปรับเทียบอุณหภูมิทุกๆ 6-12 เดือน Nice Tech ยังส่งการแจ้งเตือนเพื่อให้คุณไม่ลืม

หัวหน้าวิศวกรของ Nice Tech อธิบายง่ายๆ ว่า "เราไม่เพียงแค่สร้างเครื่องจักร- แต่เราสร้างสิ่งที่เติบโตไปพร้อมกับงานของคุณ" นั่นคือบรรยากาศที่นี่ เครื่องมือเหล่านี้ไม่เกี่ยวกับการทำเครื่องหมายในช่อง พวกเขากำลังทำให้ทีมบรรลุเป้าหมายได้ง่ายขึ้น ไม่ว่าจะเป็นการตรวจสอบกระบวนการใหม่หรือขยายขนาดการผลิต

ขณะนี้การสั่งซื้อล่วงหน้า-เปิดให้บริการแล้ว หากคุณเบื่อกับเครื่องมือที่ทำสิ่งเดียวเท่านั้น หรือต้องจบปริญญาเอกเพื่อทำงานต่อไป ก็คุ้มค่าที่จะติดต่อกับทีมของพวกเขา เราคิดว่านี่อาจเป็นอุปกรณ์ประเภทหนึ่งที่ช่วยคลายความปวดหัวจาก-การสะสมฟิล์มบางๆ-สำหรับทั้งห้องปฏิบัติการและพื้นโรงงาน