ภาพรวมผลิตภัณฑ์
ซีรีส์ -Tech CV600/CV700 ของ Nice เป็นอุปกรณ์ MOCVD การผลิตจำนวนมาก-ในระดับสูง-สำหรับการเจริญเติบโตของอีพิเทกเซียลของเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม โดยนำเทคโนโลยีการหมุนคู่ผ่านดาวเทียม-ที่เป็นเอกสิทธิ์เฉพาะมาใช้เพื่อให้เกิดการเติบโตของเวเฟอร์หลาย-ด้วยความสม่ำเสมอของ-เวเฟอร์-ระดับเดียว โดดเด่นด้วยประสิทธิภาพการใช้ก๊าซจากแหล่งชั้นนำผ่านการออกแบบการฉีดและการขนส่งก๊าซที่ปรับให้เหมาะสม อุปกรณ์นี้ได้รับการรับรอง SEMI-S2/SEMI-S6 ใช้งานและบำรุงรักษาง่าย และรองรับการปรับแต่งที่ยืดหยุ่น CV700 เป็นโมเดลที่ได้รับการอัปเกรดความจุสูง- โดยสร้างกลุ่มผลิตภัณฑ์แบบไล่ระดับเพื่อตอบสนองความต้องการการผลิตจำนวนมากที่หลากหลายของผู้ใช้อุตสาหกรรมและสถาบันวิจัยทั่วโลก
ข้อดี
1. ความสม่ำเสมอในการเติบโตที่เหนือกว่า: การหมุนคู่ของดาวเคราะห์-ทำให้พื้นผิววัสดุเรียบ จุดสูงสุดของการเลี้ยวเบนที่คมชัด และส่วนต่อประสานการเติบโตที่สูงชันด้วยความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
2. ประสิทธิภาพการใช้ก๊าซจากแหล่งสูง: การออกแบบก๊าซที่ปรับให้เหมาะสมช่วยเพิ่มการใช้ก๊าซจากแหล่ง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ-การผลิตมวลอีปิแอกเซียลที่มีความละเอียดอ่อนด้านต้นทุน
3. ความปลอดภัยและความน่าเชื่อถือสูง: ได้รับการรับรอง SEMI-S2/SEMI-S6 พร้อมโครงสร้างที่ได้รับการปรับปรุงเพื่อให้ใช้งานง่าย บำรุงรักษาง่าย และอายุการใช้งานยาวนาน
4. ช่วงการเติบโตของวัสดุที่กว้าง: ครอบคลุมการเติบโตแบบอีพิแทกเซียลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่ 2 และ 3{2}} หลักสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมในสถานการณ์ต่างๆ
5. การกำหนดค่าและการปรับแต่งที่ยืดหยุ่น: ตัวเลือกขนาดพื้นผิวที่หลากหลาย รองรับการอัพเกรดวงจรแก๊ส อ่างควบคุมอุณหภูมิ และส่วนประกอบหลักอื่นๆ แบบกำหนดเอง
6. การควบคุมกระบวนการที่แม่นยำ: มาตรฐานที่มีการควบคุมอุณหภูมิจานดาวเทียมอิสระ การตรวจสอบ R/T ในแหล่งกำเนิด- และการฉีดก๊าซหลาย-ชั้นเพื่อการเติบโต-ที่แม่นยำและมีเสถียรภาพสูง
การใช้งาน
ซีรีส์นี้ช่วยให้วัสดุเซมิคอนดักเตอร์เจนเนอเรชั่นที่ 2/3- หลัก (อาร์เซไนด์ ฟอสไฟด์ ไนไตรด์ SiC ฯลฯ) กระแสหลักมีการเติบโตแบบอีพิทาแอกเซียล และใช้วัสดุฟิล์มบางที่เตรียมไว้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ออปติก และอุปกรณ์ไฟฟ้า ให้บริการด้านเทอร์มินัลหลัก รวมถึงพลังงานใหม่ การส่งกำลัง การสื่อสาร 5G/การบินและอวกาศ การขนส่งความเร็วสูง- และการผลิตอัจฉริยะ และเป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการผลิตจำนวนมากของอุปกรณ์พลังงานเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม- ได้แก่ VCSEL และเซลล์แสงอาทิตย์
พารามิเตอร์
|
หมวดหมู่ |
ข้อมูลจำเพาะที่สำคัญ |
CV600 |
CV700 |
|
การกำหนดค่าพื้นผิว |
การรวมกันของเวเฟอร์ที่มีอยู่ (ข้อมูลจำเพาะหลัก) |
12x4", 6x6", 8x6", 5x8" |
15x4", 8x6", 9x6", 6x8" |
|
วงจรแก๊สมาตรฐาน (วัสดุที่ใช้ As/P-) |
MO แหล่งที่มาของท่อก๊าซ |
8 บรรทัด (6 มาตรฐาน + 2 การเจือจางสองเท่า) |
|
|
ท่อก๊าซไฮโดรเจน (รวมสารต้องห้าม) |
4 บรรทัด (2 มาตรฐาน + 2 การเจือจางสองเท่า) |
||
|
วงจรแก๊สมาตรฐาน (วัสดุไนไตรด์) |
MO แหล่งที่มาของท่อก๊าซ |
6 บรรทัด (5 มาตรฐาน + 1 การเจือจางสองเท่า) |
|
|
ท่อก๊าซไฮโดรเจน (รวมสารต้องห้าม) |
3 บรรทัด (2 มาตรฐาน + 1 การเจือจางสองเท่า) |
||
|
ฮาร์ดแวร์มาตรฐานหลัก |
ส่วนประกอบการทำงานหลัก |
กล่องถุงมือปลอดออกซิเจน-สะอาด, การควบคุมอุณหภูมิเพดาน, ชุดทำความร้อน RF, การควบคุมอุณหภูมิจานดาวเทียมอิสระ, การตรวจสอบ R/T ในแหล่งกำเนิด, - กลไกการฉีดก๊าซแบบหลายชั้น |
|
|
การกำหนดค่าเสริมที่สำคัญ |
รายการอัปเกรดหลัก |
1. แขนหุ่นยนต์สำหรับการถ่ายโอนจานดาวเทียม ใน-การตรวจสอบการบิดเบี้ยวในแหล่งกำเนิด |
|
|
ประสิทธิภาพกระบวนการทั่วไป |
ความสม่ำเสมอของการเติมยาสลบ |
GaAs:Si น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.87%; GaAs:C น้อยกว่าหรือเท่ากับ 4.53% |
|
|
ความสม่ำเสมอของส่วนประกอบ |
GaInP/AlGaInP MQW std น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.02%; InGaAs/AlGaAs MQW std น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.022% |
||
|
ความสม่ำเสมอของความหนา |
GaInP เป็นกลุ่มมาตรฐาน น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.6% |
||
|
ประสิทธิภาพของวัสดุจำนวนมาก |
GaAs เป็นกลุ่ม: ความเข้มข้นของ BG ＜1×10¹⁵cm⁻³, การเคลื่อนที่ 7210 cm²/V-s |
||
|
InP จำนวนมาก: ความเข้มข้นของ BG ต่ำถึง 1.45×10¹³cm⁻³ |
|||
คำถามที่พบบ่อย
คำถามที่พบบ่อย
ถาม: ซีรีส์นี้ใช้เทคโนโลยีหลักอะไรบ้าง
ตอบ: การหมุนคู่ของดาวเทียม-ด้วยดาวเทียม โดยมี-เวเฟอร์-ระดับเดียวที่สม่ำเสมอสำหรับการเติบโตของเวเฟอร์หลาย-
ถาม: วัสดุอะไรที่สามารถปลูกได้?
A: เซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่ 2- (อาร์เซไนด์/ฟอสไฟด์) และ- รุ่นที่ 3 (ไนไตรด์/SiC)
ถาม: CV600 และ CV700 แตกต่างกันอย่างไร
ตอบ: CV700 เป็นรุ่นความจุสูง-พร้อมความสามารถในการรองรับวัสดุพิมพ์ที่สูงกว่า ข้อมูลจำเพาะหลักมีความสอดคล้องกัน
ถาม: ได้รับการรับรองความปลอดภัยของอุปกรณ์หรือไม่?
ตอบ: ใช่ มีใบรับรองระดับสากล SEMI-S2/SEMI-S6
ถาม: รองรับการปรับแต่งหรือไม่
ตอบ: ได้ ท่อแก๊ส ส่วนประกอบในการตรวจสอบ และอ่างควบคุมอุณหภูมิสามารถปรับแต่ง/อัพเกรดได้
ถาม: ข้อดีของการผลิตจำนวนมากคืออะไร
ตอบ: การใช้ก๊าซจากแหล่งชั้นนำ มีความสม่ำเสมอที่ดีเยี่ยม ใช้งานง่าย/บำรุงรักษา
ถาม: ฮาร์ดแวร์หลักใดบ้างที่ติดตั้งเป็นมาตรฐาน
ตอบ: กล่องถุงมือปลอดออกซิเจน-, การตรวจสอบ R/T ในแหล่งกำเนิด-, การควบคุมอุณหภูมิจานดาวเทียมอิสระ, ชุดทำความร้อน RF ฯลฯ
ถาม: ฟิลด์แอปพลิเคชันหลักคืออะไร?
ตอบ: พลังงานใหม่ 5G/การบินและอวกาศ การขนส่งความเร็วสูง- การผลิตอัจฉริยะ แกนหลักสำหรับอุปกรณ์พลังงานเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่ 3-/VCSEL/เซลล์แสงอาทิตย์
ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบ mocvd อุตสาหกรรม ประเทศจีนผู้ผลิตระบบ mocvd อุตสาหกรรม ซัพพลายเออร์
