ลักษณะของกล้องจุลทรรศน์สามมิติ

กล้องจุลทรรศน์ 3 มิติเป็นเครื่องมือวิเคราะห์สัณฐานวิทยาพื้นผิวที่มีความแม่นยำสูง-ซึ่งมีช่วงการวัดครอบคลุมระดับนาโนเมตรถึงมิลลิเมตร ซึ่งสามารถวิเคราะห์พารามิเตอร์ต่างๆ เช่น ความหยาบ ความสูงของขั้น และโปรไฟล์พื้นผิว เครื่องมือนี้ใช้เทคโนโลยีการทดสอบแบบไม่ทำลาย-และไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับความแข็งแกร่งของพื้นผิวของตัวอย่าง มีลักษณะการสแกนที่รวดเร็วและมีความเสถียรสูง ซีรีส์ Miracle Vision ซึ่งเปิดตัวในปี 2025 ผสานรวมระบบออพติคอลและอัลกอริธึมอัจฉริยะ รองรับฟังก์ชันการวัด 2D และการสร้างใหม่ 3D และนำไปใช้ในด้านต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ ไบโอชิป และการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ

ลักษณะทางเทคนิค
ช่วงการขยายด้วยแสง 108x-17280x รองรับฟังก์ชั่นการสังเกต 3D แบบหมุน
การนำเทคโนโลยีการปรับระดับอัจฉริยะและฟังก์ชันการนำทางในระดับภูมิภาคมาใช้เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการวัด
ความแม่นยำในการวัดยังคงอยู่ภายใน ± 2% ของค่าที่วัดได้ (ณ ปี 2021)