ระบบสปัตเตอร์ริ่งแมกนีตรอนแบบห้องคู่-

ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง-ห้องคู่นี้สร้างขึ้นสำหรับการผลิตอุปกรณ์ระนาบโฟกัสอินฟราเรดโดยเฉพาะ หน้าที่หลักคือการฝากฟิล์มฟิล์มคอมโพสิต ZnS/CdTe ไว้บนชั้นเอปิแอกเซียลของ HgCdTe ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตเครื่องตรวจจับอินฟราเรดประสิทธิภาพสูง-

ด้วยการรวมแมกนีตรอนสปัตเตอร์ที่โตเต็มวัยเข้ากับโครงสร้างห้องคู่- ระบบจะช่วยให้ผู้ใช้ควบคุมพารามิเตอร์การเติบโตของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ มันสร้างชั้นฟิล์มทู่ที่หนาแน่นสม่ำเสมอและเชื่อถือได้ ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความเสถียรของอาร์เรย์ระนาบโฟกัสอินฟราเรดในการผลิตจริง

สถาปัตยกรรมคลัสเตอร์ช่วยลด-การปนเปื้อนข้าม

การออกแบบคลัสเตอร์และเค้าโครงกระบวนการหลาย-ช่วยแยกกระบวนการสร้างฟิล์มและออกซิเดชันออกจากกัน ซึ่งลดการ-การปนเปื้อนข้ามและรักษาคุณภาพของฟิล์มให้สม่ำเสมอ

วัสดุพิมพ์ที่มีอุณหภูมิต่ำ-ช่วยปกป้องวัสดุ HgCdTe

การทำงานที่อุณหภูมิของสารตั้งต้นที่ต่ำกว่าจะช่วยป้องกันไม่ให้อะตอมของ Hg หลุดออกไปในระหว่างการสะสม สิ่งนี้จะรักษาคุณสมบัติของวัสดุดั้งเดิมของชั้น epitaxis ของ HgCdTe ซึ่งมีความสำคัญต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย

การสปัตเตอร์จากล่าง-จะช่วยลดข้อบกพร่องของอนุภาค

การใช้วิธีสปัตเตอร์จากล่าง-ด้านบนจะช่วยลดฝุ่นและการสะสมตัวของอนุภาคบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ ส่งผลให้ฟิล์มสะอาดขึ้นและมีข้อบกพร่องน้อยลง ส่งผลให้ผลผลิตโดยรวมดีขึ้น

การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำช่วยให้การประมวลผลมีเสถียรภาพ

อุณหภูมิจะถูกควบคุมให้อยู่ภายใน ±0.5 องศา ในช่วง 0 องศาถึง 140 องศา และระบบใช้งานได้กับเวเฟอร์ขนาด 4-8 นิ้ว การควบคุมระดับนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการเติบโตของฟิล์มที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ และผลลัพธ์ที่ทำซ้ำได้ในแต่ละชุด

ระบบนี้ใช้เป็นหลักในการวิจัยและพัฒนาและการผลิตจำนวนมากของอุปกรณ์ระนาบโฟกัสอินฟราเรด โดยมุ่งเน้นที่การสะสมฟิล์มทู่คอมโพสิต ZnS/CdTe บนเวเฟอร์ HgCdTe

เป็นอุปกรณ์ชิ้นสำคัญในห่วงโซ่อุปทานของเครื่องตรวจจับอินฟราเรดความไวสูง- ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในการบินและอวกาศ การลาดตระเวนทางทหาร การถ่ายภาพความร้อนทางอุตสาหกรรม และการวิจัยทางวิทยาศาสตร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์ถ่ายภาพอินฟราเรด

ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง-ห้องคู่ ประเทศจีนผู้ผลิตระบบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งห้องคู่- ซัพพลายเออร์