เครื่องระเหยลำแสงอิเล็กตรอน

เครื่องระเหยลำแสงอิเล็กตรอนของ Nice-tech คือชุดอุปกรณ์ PVD (Physical Vapour Deposition) ประสิทธิภาพสูง-ที่พัฒนาขึ้นเพื่อความต้องการด้านการผลิตทางอุตสาหกรรมและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ที่หลากหลาย ครอบคลุมการผลิตระดับเวเฟอร์-จำนวนมาก การเคลือบชิ้นงานขนาดใหญ่- การวิจัยและพัฒนาเป็นชุดขนาดเล็ก- และสถานการณ์กระบวนการเฉพาะทาง กลุ่มผลิตภัณฑ์ประกอบด้วยรุ่นต่างๆ หลายรุ่น เช่น EBE 700, EBE 600 / EBE 600P, EBE 500, EBE 400, EBE300 / EBE300P, EBE 200 /EBE 200P, EBE 100. แต่ละระบบรวมเทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศขั้นสูงและส่วนประกอบหลัก-ระดับโลก (จากแบรนด์อย่าง Edwards, Pfeiffer และ MKS) จับคู่กับ-ระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบของ VKOS ที่ตนเองพัฒนาขึ้น เพื่อให้มั่นใจว่าการสะสมฟิล์มจะมีเสถียรภาพ เชื่อถือได้ และมีประสิทธิภาพ

ชุดผลิตภัณฑ์มีการออกแบบโครงสร้างที่ยืดหยุ่น-รวมถึง-ห้องเดี่ยว -ห้องคู่ และการกำหนดค่าขนาดกะทัดรัด- เพื่อปรับให้เข้ากับพื้นที่และข้อกำหนดกระบวนการที่แตกต่างกัน ตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพหลักโดดเด่น: ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่แม่นยำถึง ±2% (รุ่นส่วนใหญ่) และ ±3% (รุ่นกะทัดรัด) สุญญากาศขั้นสุดท้ายถึง 1E-5Pa ถึง 2E-5Pa และช่วงการควบคุมอุณหภูมิครอบคลุมตั้งแต่ -50 องศาถึง 500 องศา (หรือ RT ถึง 500 องศา ) เพื่อตอบสนองความต้องการการสะสมของวัสดุต่างๆ ไม่ว่าจะเป็นการผลิตจำนวนมากในระดับแผ่นเวเฟอร์ การเตรียมฟิล์มหลายชั้นที่ซับซ้อน หรือการตรวจสอบการวิจัยและพัฒนาในห้องปฏิบัติการ ระบบการระเหยลำอิเล็กตรอนของ Vikaitech มอบโซลูชันที่ปรับให้เหมาะสม

• คุณภาพฟิล์มที่เหนือกว่าและความสม่ำเสมอสูง
• โมเดลที่หลากหลายสำหรับความต้องการที่ตรงเป้าหมาย
• ระบบอัตโนมัติสูงและการบำรุงรักษาง่าย
• ความเข้ากันได้และการปรับแต่งที่แข็งแกร่ง
• การกำหนดค่าหลักที่เชื่อถือได้

• เซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์
• ออปโตอิเล็กทรอนิกส์และการสื่อสารด้วยแสง
• การบินและอวกาศและการตรวจจับอินฟราเรด
• ชีวการแพทย์และวัสดุใหม่
• การผลิตมวลอุตสาหกรรม
• การวิจัยทางวิทยาศาสตร์และมหาวิทยาลัย

ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ผู้ผลิตเครื่องระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ซัพพลายเออร์