ระบบสร้างลำแสงย้อนกลับ

ข้อดีทั่วไป

• ประสิทธิภาพและความแม่นยำที่เพิ่มขึ้น: การผสมผสานฟิสิกส์และเคมีช่วยเพิ่มอัตราการกำจัดวัสดุและการเลือกหน้ากาก การควบคุมพลังงานลำแสงไอออนและฟลักซ์อย่างอิสระทำให้มั่นใจได้ถึงสัณฐานวิทยาของรูปแบบที่คมชัดและแม่นยำ
• ความสามารถในการปรับเปลี่ยนกระบวนการที่ยืดหยุ่น: ช่วงการเอียงของเวทีตั้งแต่ -90 องศาถึง +80 องศา เพื่อการปรับมุมของแก้มยางอย่างแม่นยำ แท่นหมุนได้เพิ่มความสม่ำเสมอ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตอุปกรณ์รูปทรงพิเศษ
• ความเข้ากันได้ของวัสดุในวงกว้าง: ทำงานได้อย่างราบรื่นกับโลหะ โลหะผสม ออกไซด์ และสารกึ่งตัวนำแบบผสม- จัดการกับความท้าทายในการสร้างรูปแบบของวัสดุที่ซับซ้อนที่สุด

ข้อดีที่แตกต่าง

• 12-นิ้ว: นำเสนอแหล่งกำเนิดไอออนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่<1% etch uniformity (1σ). Ideal for high-precision 12-inch advanced processes.
• 8 นิ้ว: ข้อเสนอ<3% uniformity in a compact, cost-effective design. Compatible with multi-size wafers, making it perfect for mature nodes and R&D projects.

การใช้งานทั่วไป
1. โครงสร้างเชิงแสงแบบพิเศษ: ให้ตะแกรงที่เอียงและลุกโชน-ความสามารถระดับแนวหน้าในอุตสาหกรรมของเรา- - สำหรับระบบการสื่อสารด้วยแสงและเทคโนโลยีเลเซอร์
2. อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อน: รูปแบบสแต็กโลหะหลาย-ชั้นและจุดเชื่อมต่อเฮเทอโร รับประกันประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เชื่อถือได้ในแอปพลิเคชันที่มีความต้องการสูง-
3. เซ็นเซอร์ความแม่นยำสูง-: สร้าง MEMS และเซ็นเซอร์ออปติคอลด้วยโครงสร้างจุลภาคที่มีความแม่นยำเป็นพิเศษ- เพิ่มความไวของเซ็นเซอร์และความเสถียรในการปฏิบัติงานโดยตรง

การใช้งานที่แตกต่าง
1. 12-นิ้ว: หลักสำคัญสำหรับสายการผลิตขั้นสูงขนาด 12- นิ้ว ลองนึกถึงเลเยอร์การทำงานของ MRAM/PCRAM และชิปโฟโตนิกส์ซิลิคอน ผสานรวมเข้ากับขั้นตอนการผลิตขนาด 12 นิ้วที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น
2. 8-นิ้ว: เหมาะสำหรับโหนดผู้ใหญ่ขนาด 8 นิ้ว (มากกว่าหรือเท่ากับ 0.11μm) และโครงการวิจัยและพัฒนา เช่น เซ็นเซอร์ออปติคอลขนาดเล็กและ MEMS เฉพาะทาง รองรับการสลับขนาดเวเฟอร์ที่ยืดหยุ่นเพื่อให้เหมาะกับความต้องการการพัฒนาที่หลากหลาย

ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบการสร้างลำแสงย้อนกลับ ผู้ผลิตระบบการสร้างลำแสงย้อนกลับ ซัพพลายเออร์