เบื่อหน่ายกับอุปกรณ์ขนาดใหญ่ที่เข้ามาแทนที่ห้องปฏิบัติการหรือพื้นที่การผลิตขนาดเล็กของคุณหรือไม่? RTP-ระบบ RTP บนเดสก์ท็อป 100 รายการสร้างขึ้นสำหรับเวเฟอร์ขนาดเล็ก (สูงสุด 6 นิ้ว)- เหมาะสำหรับทีมที่ต้องการความแม่นยำโดยไม่ต้องเสียสละพื้นที่เป็นตารางฟุต ตรงไปตรงมา เชื่อถือได้ และปรับให้เหมาะกับความต้องการในชีวิตประจำวันของนักวิจัยและผู้ผลิตรายย่อย
สิ่งที่เรารักเกี่ยวกับเรื่องนี้
พอดีเหมือนถุงมือ: ที่ 910 มม.×860 มม.×695 มม. (กว้าง×ลึก×สูง) จะเลื่อนเข้าไปในมุมที่คับแคบหรือมีโต๊ะทำงานที่หนาแน่น ไม่จำเป็นต้องจัดเรียงการตั้งค่าทั้งหมดใหม่เพียงเพื่อเพิ่มความสามารถในการประมวลผลความร้อน
การควบคุมอุณหภูมิที่คุณวางใจได้: สองวิธีในการควบคุมความร้อน-เทอร์โมคัปเปิลสำหรับอุณหภูมิห้องสูงถึง 800 องศา และไพโรมิเตอร์อินฟราเรดสำหรับ 500 องศาถึง 1200 องศา ให้ความร้อนเวเฟอร์สูงถึง 150 องศา/วินาที (เร็วกว่า SiC หรือตัวพากราไฟท์อย่างมาก ซึ่งสูงสุดที่ 20-30 องศา/วินาที) และความสม่ำเสมอ? น้อยกว่าหรือเท่ากับ ±3 องศา สม่ำเสมอต่ำกว่า 600 องศา สูงกว่านั้นน้อยกว่าหรือเท่ากับ ±0.5% บวกกับความสามารถในการทำซ้ำ ±1 องศา ดังนั้นผลลัพธ์ของคุณจะไม่แตกต่างกันไปในแต่ละชุด
ไม่-ดำเนินการยุ่งยาก: การขนถ่ายด้วยตนเองช่วยให้ทุกอย่างง่ายขึ้น (ดีถ้าคุณต้องการควบคุมด้วยมือ-) ในขณะที่เสียงกริ่งและไฟเตือนจะแจ้งให้คุณทราบหากมีสิ่งใดขัดข้อง การควบคุมด้วยพีซีทำให้การปรับแต่งพารามิเตอร์เป็นเรื่องง่าย -ไม่ต้องมีการฝึกอบรมที่ซับซ้อน
ครอบคลุมพื้นฐาน (และบางส่วน): จัดการสุญญากาศได้ถึง 30 mTorr เก็บออกซิเจนให้ต่ำกว่า 3 ppm และรองรับช่อง MFC สูงสุด 4 ช่อง ไม่ว่าคุณจะทำการหลอมไอออน การหลอมออกไซด์ หรือการอบชุบตัวอย่างขนาดเล็ก ระบบจะทำเครื่องหมายในช่องทั้งหมดสำหรับการประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็วขั้นพื้นฐาน
เหมาะสำหรับใคร
นี่ไม่ใช่สำหรับ-โรงงานขนาดใหญ่-แต่สำหรับเทคโนโลยีในห้องปฏิบัติการที่ทำการทดลองรายวัน ผู้ผลิตรายเล็กที่ผลิตส่วนประกอบแบบกำหนดเอง หรือทีมวิจัยกำลังทดสอบวัสดุใหม่ หากคุณทำงานกับเวเฟอร์ขนาดเล็กและต้องการผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอโดยไม่ต้องยุ่งยากกับอุปกรณ์ขนาดอุตสาหกรรม- ผลิตภัณฑ์นี้เหมาะสำหรับคุณ
เคล็ดลับง่ายๆ สำหรับการใช้งานอย่างถูกต้อง
การสลับโหมดอุณหภูมิ: ใช้เทอร์โมคัปเปิ้ลสำหรับอุณหภูมิสูงสุด 800 องศา และพลิกเป็นอินฟราเรดในซอฟต์แวร์พีซีเพื่อดูสิ่งที่ร้อนกว่า ระบบจะปรับเทียบตัวเองโดยอัตโนมัติ-สัมผัสที่ดี
กำลังโหลดเวเฟอร์: อย่าข้ามถุงมือที่สะอาด! ผลการทำลายลายนิ้วมือหรือฝุ่น จัดการอย่างนุ่มนวล ไม่ตกหล่น และตรวจสอบให้แน่ใจว่าอยู่ตรงกลางของพาหะ-ขั้นตอนง่ายๆ ที่จะช่วยลดอาการปวดหัวในภายหลัง
การแก้ไขทั่วไป: หากเสียงสัญญาณดังขึ้นเมื่อสตาร์ทเครื่อง ให้ตรวจสอบก่อนว่าประตูห้องล็อคแน่นหรือไม่ (เราลืมไปหมดแล้ว!) หากอัตราการให้ความร้อนไม่ถึง 150 องศา /วินาที ตรวจสอบให้แน่ใจว่าคุณไม่ได้ใช้พาหะ-ที่ทำให้เครื่องช้าลง และถ้าเวเฟอร์ของคุณออกซิไดซ์โดยไม่คาดคิด ให้-ตรวจสอบสุญญากาศอีกครั้ง (ควรน้อยกว่าหรือเท่ากับ 30 mTorr) และระดับออกซิเจน (เก็บไว้<3 ppm).
การบำรุงรักษาที่สำคัญ: เช็ดห้องควอทซ์ด้วยแอลกอฮอล์ทุกสัปดาห์-สิ่งสกปรกจะสะสมเร็วกว่าที่คุณคิด ตรวจสอบหลอดไฟทุกๆ 3 เดือน (เปลี่ยนหลังจาก 1,000 ชั่วโมง) และแหวนซีลทุกเดือนเพื่อดูรอยแตก โอ้ และอย่าปล่อยให้น้ำหล่อเย็นเกิน 70 องศา -นั่นจะทำให้ชิ้นส่วนเสียหายได้อย่างรวดเร็ว
ม้าทำงานที่มั่นคง
ได้รับการรับรองมาตรฐาน SEMI S2 สิ่งนี้สร้างมาให้มีอายุการใช้งานยาวนาน มันไม่ได้มีคุณสมบัติพิเศษที่ฉูดฉาดที่คุณไม่เคยใช้ แต่มันตอกย้ำสิ่งสำคัญ: ความแม่นยำ ความกะทัดรัด และความสะดวกในการใช้งาน สำหรับห้องปฏิบัติการและทีมงานขนาดเล็กที่ต้องการโซลูชันการประมวลผลความร้อนที่ใช้งานได้ทั้งวันทั้งคืน RTP-100 ไม่ใช่เรื่องง่าย- มันไม่สมบูรณ์แบบ (ไม่มีอะไรเป็นเลย!) แต่เชื่อถือได้ และนั่นคือสิ่งที่สำคัญเมื่อคุณพยายามทำให้การทดลองหรือการผลิตเป็นไปตามแผน
