แมกนีตรอนสปัตเตอร์เกียร์เป็นแกนหลักของเทคโนโลยี PVD-ทั้งสามรุ่นของเราทั้งหมดวางทับบน-ฟิล์มโลหะรอยบาก ไดอิเล็กทริก และเซมิคอนดักเตอร์ แต่ได้รับการออกแบบมาเพื่องานที่แตกต่างกัน หากคุณกำลังเกาหัวว่าอันไหนพอดี คู่มือนี้จะแจกแจงรายละเอียดง่ายๆ โดยขึ้นอยู่กับว่าใครเป็นคนใช้และใช้เพื่ออะไร
แต่ละรุ่นเหมาะกับใคร?
โมเดลห้องเดี่ยวอุตสาหกรรม-: สร้างขึ้นสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายใหญ่ที่ต้องการสร้าง CMOS/IGBT และวงจรรวมอื่นๆ ทีมเหล่านี้ต้องการผลผลิตที่มั่นคง ต้นทุนการดำเนินงานต่ำ และอุปกรณ์ที่ง่ายต่อการติดตาม-สิ่งที่จะส่งเข้าสู่สายการผลิตจำนวนมากโดยไม่ต้องยุ่งยาก
โมเดลหลายห้องสำหรับอุตสาหกรรม-: เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ-ผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์ที่เน้นไปที่ 5G หรือออปโตอิเล็กทรอนิกส์ พวกเขากำลังจัดการกับฟิล์มหลายชั้น-ที่ซับซ้อนในวงกว้าง ดังนั้นระบบอัตโนมัติ ความแม่นยำ และการประมวลผลที่สะอาด (ไม่มีการปนเปื้อนจากขั้นตอนที่ต้องทำเอง) จึงไม่สามารถ-ต่อรองได้
การวิจัย-แบบจำลองเกรด: เหมาะสำหรับมหาวิทยาลัย ห้องทดลอง และบริษัทสตาร์ทอัพด้านวัสดุใหม่ๆ คนที่นี่กำลังทดสอบชุดเล็กๆ-ลองนึกถึงซิลิคอนคาร์ไบด์หรือต้นแบบชิปควอนตัม- ดังนั้นพวกเขาจึงต้องการความยืดหยุ่นในการปรับแต่งการตั้งค่าและควบคุมต้นทุนด้านการวิจัยและพัฒนา
พวกเขาใช้ทำอะไร?
โมเดลห้องเดี่ยวอุตสาหกรรม-: ฉายแสงในปริมาณมาก-โดยสร้างฟิล์มมาตรฐานบนเวเฟอร์ขนาด 8- นิ้ว (หรือเล็กกว่า) รวดเร็ว สม่ำเสมอ (ความสม่ำเสมอของฟิล์มต่ำกว่า ±3%) และใช้เป้าหมายอย่างมีประสิทธิภาพเพื่อลดต้นทุน ใช้งานได้ดีกับซิลิคอน สารประกอบ เซรามิก ซึ่งเป็นวัตถุดิบหลักในการผลิตภาคอุตสาหกรรม
โมเดลหลายห้องสำหรับอุตสาหกรรม-: จัดการกับสิ่งที่ยาก: การผลิตขนาดใหญ่-ของฟิล์มหลายชั้นที่ซับซ้อน-สำหรับ 5G และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ช่องอัตโนมัติแบบโมดูลาร์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพ ในขณะที่การควบคุมอนุภาคขั้นสูงทำให้ฟิล์มบริสุทธิ์เป็นพิเศษ- เหมาะกับเวเฟอร์ขนาด 6-8 นิ้วและเล่นได้ดีกับซิลิคอน สารประกอบ และอื่นๆ
การวิจัย-แบบจำลองเกรด: สนามเด็กเล่นสำหรับ R&D รองรับ-เป้าหมายเดียว, หลาย-เป้าหมายตามลำดับ หรือ-สปัตเตอร์ริ่ง- เหมาะสำหรับการทดสอบโลหะ (Al, Au, Cu), ไดอิเล็กทริก (SiO₂, TaN) และเซมิคอนดักเตอร์ มีการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ (RT-600 องศา การทำความร้อน/ความเย็น) และการประมวลผลเป็นชุด-ขนาดเล็กเพื่อประหยัดในการทดลองใช้งาน พร้อมด้วยอุปกรณ์เสริมเพิ่มเติม เช่น ห้องสุญญากาศล่วงหน้า
เลือกด่วน: 3 ขั้นตอนง่ายๆ
เริ่มต้นด้วยเป้าหมายหลักของคุณ: การผลิตจำนวนมาก? ไปอุตสาหกรรม การวิจัยและพัฒนา? หยิบโมเดลการวิจัย
จำกัดให้แคบลง: ภาพยนตร์มาตรฐาน/การผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 8- นิ้ว → ห้องเดี่ยว- ฟิล์มหลายชั้นที่ซับซ้อน- → หลาย-ห้อง การทดสอบเป็นกลุ่มขนาดเล็ก-ที่ยืดหยุ่น → ระดับการวิจัย
ตรวจสอบรายละเอียดที่สำคัญอีกครั้ง-: ขนาดเวเฟอร์ (สูงสุด 8- นิ้วสำหรับเดี่ยว/การวิจัย, 6-8 นิ้วสำหรับหลาย-ห้อง), ความเข้ากันได้ของวัสดุ (ทั้งหมดรองรับสิ่งที่ไม่ใช่-ซิลิคอน เช่น เซรามิกหรือโลหะ) และการอัพเกรด (หลาย-โมเดลห้อง/การวิจัยหลายห้องสามารถเพิ่มปืนเป้าหมาย-ห้องเดี่ยวไม่สามารถทำได้ ดังนั้นควรวางแผนล่วงหน้า)
