เครื่องแกะสลักไอซีพี 8"

เครื่องแกะสลักไอซีพี 8"

ระบบแกะสลัก ICP ขนาด 8- นิ้วนี้เป็นอุปกรณ์-การผลิตจำนวนมาก-สำหรับโรงงาน IC ขนาดกลาง/เล็ก และกระบวนการพิเศษ โดดเด่นด้วยแหล่งกำเนิด ICP ที่มีความเสถียรสูง- การถ่ายเทสุญญากาศที่แม่นยำ และการควบคุม-วงปิด ช่วยให้สามารถแกะสลักซิลิคอน โลหะ และไดอิเล็กตริกได้อย่างแม่นยำเป็นพิเศษ สอดคล้องกับมาตรฐาน 8 นิ้ว โดยรองรับโหนด 0.11μm+ และปรับให้เข้ากับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แบบพิเศษ ประสิทธิภาพที่สมดุล และความยืดหยุ่นสำหรับโซลูชันที่คุ้มค่า
ส่งคำถาม
คำอธิบาย

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

 

ระบบแกะสลัก ICP ขนาด 8- นิ้วนี้เป็นอุปกรณ์-การผลิตจำนวนมาก-สำหรับโรงงาน IC ขนาดกลาง/เล็ก และกระบวนการพิเศษ โดดเด่นด้วยแหล่งกำเนิด ICP ที่มีความเสถียรสูง- การถ่ายเทสุญญากาศที่แม่นยำ และการควบคุม-วงปิด ช่วยให้สามารถแกะสลักซิลิคอน โลหะ และไดอิเล็กตริกได้อย่างแม่นยำเป็นพิเศษ สอดคล้องกับมาตรฐาน 8 นิ้ว โดยรองรับโหนด 0.11μm+ และปรับให้เข้ากับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แบบพิเศษ ประสิทธิภาพที่สมดุล และความยืดหยุ่นสำหรับโซลูชันที่คุ้มค่า

 

ข้อดี

การควบคุมที่แม่นยำและให้ผลตอบแทนสูง

-แหล่ง ICP ที่ปรับให้เหมาะสมด้วยตนเองที่นี่สร้างความแตกต่างอย่างแท้จริง- โดยเพิ่มความสม่ำเสมอของพลาสมาขึ้น 15% โดยมีภายใน-ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5% และเวเฟอร์-ถึง-ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์น้อยกว่าหรือเท่ากับ 3% จากนั้นก็มีการเลือกการแกะสลัก 100: 1; ซึ่งช่วยลดความเสียหายของวัสดุพิมพ์ได้มากและโดยธรรมชาติแล้วผลผลิตก็จะเพิ่มขึ้นเช่นกัน

การประหยัด-การผลิตและต้นทุน-จำนวนมากที่มีประสิทธิภาพ

มาดูตัวเลขที่แน่ชัดกันดีกว่า-ระบบนี้สามารถรองรับเวเฟอร์ได้ 12,000 ถึง 15,000 ชิ้นต่อเดือน ความน่าเชื่อถือก็มั่นคงเช่นกัน: MTBF ใช้งานได้นานกว่า 300 ชั่วโมง และ MTBC ใช้งานได้ถึง 350 RF- ชั่วโมง นอกจากนี้ การออกแบบที่กะทัดรัดยังช่วยประหยัดพื้นที่ 30% ซึ่งจะช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานโดยรวมลง 20%-ซึ่งถือเป็นชัยชนะครั้งใหญ่ในด้านงบประมาณ

ความเข้ากันได้ในวงกว้าง

ค่อนข้างใช้งานได้หลากหลายเมื่อพูดถึงวัสดุ-ซิลิคอน โลหะ Al/W และไดอิเล็กทริก SiO₂/Si₃N₄ ทั้งหมดนี้ทำงานโดยใช้กระบวนการกัดกรด และอินเทอร์เฟซแบบโมดูลาร์ก็ช่วยชีวิตได้ การสลับพารามิเตอร์สำหรับลอจิก หน่วยความจำ หรือเซมิคอนดักเตอร์กำลังใช้เวลาไม่นานเลย

การทำงานอัจฉริยะ

อินเทอร์เฟซแบบสัมผัสนั้นใช้งานง่าย- และมาพร้อมกับ-ฐานข้อมูลในตัวและเครื่องมือวินิจฉัยข้อผิดพลาด ผู้ประกอบการรายใหม่? พวกเขาสามารถเร่งความเร็วได้ภายในเวลาเพียงหนึ่งสัปดาห์ ยิ่งไปกว่านั้น การตรวจสอบตามเวลาจริง-ยังช่วยลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา-โดยไม่มีค่าใช้จ่ายที่ไม่จำเป็นอีกต่อไป

 

การใช้งาน

01/

การผลิต IC กระแสหลักขนาด 8 นิ้ว:แกนหลักสำหรับการแกะสลัก IC FEOL (เกต, STI) และ BEOL (ลวดอัล, ปลั๊ก W) ขนาด 8 นิ้ว, พอดีกับชิปลอจิก/หน่วยความจำ0.11μm-0.35μm

02/

อุปกรณ์พิเศษ:สูตรเฉพาะสำหรับการกัดอิเล็กโทรด IGBT/MOSFET และการสร้างรูปแบบ LED/เซ็นเซอร์

03/

การอัพเกรดความจุ:ขยายความจุโรงงานขนาด 8- นิ้วที่โตเต็มที่ รองรับขนาด 6 นิ้วเพื่อการปรับใช้หลายขนาดที่ยืดหยุ่น

04/

การวิจัยและพัฒนาและการผลิตนำร่อง:จำเป็นสำหรับการวิจัยและพัฒนาวัสดุ/กระบวนการใหม่ในมหาวิทยาลัยและองค์กร การเชื่อมโยงโครงการนำร่องและการผลิตจำนวนมาก

 

พารามิเตอร์

 

หมวดหมู่

รายละเอียด

ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์

เวเฟอร์ IC ขนาด 8 นิ้ว (200 มม.) เข้ากันได้กับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว (อุปกรณ์เสริม)

โหนดเทคโนโลยีที่รองรับ

0.11μm – 0.35μm (โหนดหลัก); ปรับให้เข้ากับกระบวนการเฉพาะทางได้

การกำหนดค่าห้อง

แหล่งกำเนิด ICP ที่มีความเสถียรสูง- + โมดูลถ่ายเทสุญญากาศที่มีความแม่นยำ + ช่องดูดความชื้น

วัสดุที่แกะสลักได้

ซิลิคอน, อลูมิเนียม (Al), ทังสเตน (W), ซิลิคอนออกไซด์ (SiO₂), ซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄)

ประสิทธิภาพกระบวนการที่สำคัญ

- ภายใน-ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5%- ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์-ถึง-ความสม่ำเสมอของเวเฟอร์: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 3%- การเลือกจำหลัก: สูงถึง 100:1

กำลังการผลิต

12,000 – 15,000 เวเฟอร์/เดือน (กระบวนการมาตรฐาน)

ตัวชี้วัดความน่าเชื่อถือ

- MTBF (เวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว): >300 ชั่วโมง- MTBC (เวลาเฉลี่ยระหว่างการทำความสะอาด): 350 RF-ชม.

คุณสมบัติของระบบ

การควบคุมลูปหลาย-พารามิเตอร์ปิด- ส่วนต่อประสานกระบวนการแบบโมดูลาร์ การวินิจฉัยข้อผิดพลาดอัจฉริยะ

ความต้องการพื้นที่

การออกแบบที่กะทัดรัด (ประหยัดพื้นที่ 30%- เมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์ที่คล้ายคลึงกัน)

ความได้เปรียบด้านต้นทุนการดำเนินงาน

ต้นทุนการดำเนินงานที่ครอบคลุมต่ำกว่าค่าเฉลี่ยของอุตสาหกรรมถึง 20%

 

คำถามที่พบบ่อย

 

ถาม: ระบบรองรับเวเฟอร์ขนาดใด

A: 8 นิ้ว (200 มม.) เป็นมาตรฐาน; รองรับขนาด 6 นิ้ว (อุปกรณ์เสริม)

ถาม: รองรับโหนดเทคโนโลยีใดบ้าง

A: 0.11μm – 0.35μm โหนดกระแสหลัก; ปรับให้เข้ากับกระบวนการเฉพาะทางได้

ถาม: สามารถกัดวัสดุอะไรได้บ้าง?

ตอบ: ซิลิคอน, โลหะ Al/W, ไดอิเล็กทริก SiO₂/Si₃N₄

ถาม: กำลังการผลิตรายเดือนคือเท่าไร?

A: 12,000 – 15,000 เวเฟอร์ (กระบวนการมาตรฐาน)

ถาม: ตัวชี้วัดความน่าเชื่อถือที่สำคัญคืออะไร

ตอบ: MTBF> 300 ชม.; MTBC=350 RF-ชม.

 

ป้ายกำกับยอดนิยม: 8" icp etcher ผู้ผลิตจีน 8" icp etcher และซัพพลายเออร์

ส่งคำถาม